反馈文件质量
nexusstc/射频等离子体物理学/d1811d0584b63cc8ec1b55b89b036e54.pdf
射频等离子体物理学 🔍
[法]帕斯卡·夏伯特,[英]尼古拉斯·布雷斯韦著;王友年,徐军,宋远红译 Pascal Chabert, Nicholas Braithwaite 科学出版社有限责任公司, Xian dai ying yong wu li xue cong shu, Di 1 ban, Beijing, 2015
中文 [zh] · PDF · 354.2MB · 2015 · 📘 非小说类图书 · 🚀/duxiu/lgli/lgrs/nexusstc/zlib · Save
描述
图字 :01-2014-1161
内容简介
从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源,低温射频等离子体在
各种前沿技术中扮演着重要的角色,而且它是物理学、化学及工程学之间相
互交叉的一个学科。本书主要聚焦在物理学方面,所以主要适用于应用物
理及电子工程专业的研究生及科研人员。
本书不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述,同时也包括一些等离
子体物理基础知识,如有界等离子体的输运及电学诊断。本书的风格有助
于激发读者学习的兴趣,帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实
例分析,将理论应用到实际问题中,并留有超过 100 道的简答题,让读者能
够快速掌握新知识,有信心解决与实验相关的物理问题。
Physics of Radio-Fγequency Plasmas , first edition (978-0-521
763004) by Pascal Chabert, Nicholas Braithwaite first published by Cam-
bridge University Press 2011
All rights reserved.
This simplified Chinese edition for the People' s Republic of China is
published by arrangement with the Press Syndicate of the University of
Cambridge, Cam丑巾
1
Science Press 2015
This book is in ∞pyright No reproduction of any p缸t may take place with
out the written permissωn of Cambridge University Press and ::元ience Press
This edition is for sale in the People' s Republic of China (excluding
Hong Kong SAR, Macau SAR and Taiwan Province) only.
此版本仅限在中华人民共和国境内(不包括香港、澳门特别行政区及台
湾地区)销售。
图书在版编目 (CIP) 数据
射频等离子体物理学 /C 法)夏伯特 C Chabert, P. ), C 英)布雷斯韦特
CBraithwaite,N. )著;王友年,徐军,宋远红译.
北京:科学出版社, 2015.10
书名原文 :Physics of Radio-Frequency Plasmas
ISBN 978-7-03-045919-0
1. 1射...
II. 1夏...2布...3王...4徐...5宋...
皿.1射频等离
子体物理学凹.1053
中国版本图书馆 CIP 数据核字 (2015)第 238458 号
责任编辑:钱俊裴威/责任校对:钟洋
责任印制:徐晓晨/封面设计:陈
敬
4串
4事必烈且拱出版
北京东黄城根北街 16 号
邮政编码,1∞717
http://www.sciencep. cor丑
:Jl: i草 1革绊;t彩印刷有,~~~司印刷
科学出版社发行各地新华书店经销
2015 年 10 月第一版开本 :720XI000
B5
2015 年 10 月第一次印刷印张 :20
5/8
字数: 404000
定价 :128.00 元
(如有印装质量问题,我社负责调换)
备用文件名
lgli/射频等离子体物理学 [法]帕斯卡·夏伯特，[英]尼古拉斯·布雷斯韦著；王友年，徐军，宋远红译_decrypt.pdf
备用文件名
lgrsnf/射频等离子体物理学 [法]帕斯卡·夏伯特，[英]尼古拉斯·布雷斯韦著；王友年，徐军，宋远红译_decrypt.pdf
备用文件名
zlib/no-category/[法]帕斯卡·夏伯特，[英]尼古拉斯·布雷斯韦著；王友年，徐军，宋远红译 Pascal Chabert, Nicholas Braithwaite/射频等离子体物理学_10988156.pdf
备选标题
Physics of Radio-Frequency Plasmas
备选作者
(法)帕斯卡. 夏伯特, (英)尼古拉斯. 布雷斯韦特著 ; 王友年, 徐军, 宋远红译; 夏伯特; 布雷斯韦特; 王友年; 徐军; 宋远红
备选作者
Pascal Chabert, CNRS, Nicholas Braithwaite, The Open University
备选作者
Chabert, Pascal, Braithwaite, Nicholas
备选作者
Nicholas Braithwaite; Pascal Chabert
备选作者
夏伯特 (Chabert, Pascal)
备用出版商
Cambridge University Press (Virtual Publishing)
备用出版商
Science Press
备用出版商
北京:科学出版社
备用版本
Cambridge University Press, Cambridge, 2011
备用版本
United Kingdom and Ireland, United Kingdom
备用版本
China, People's Republic, China
备用版本
Cambridge, England, 2011
备用版本
Cambridge, 2011, ©2011
备用版本
Illustrated, 2011
元数据中的注释
lg2878195
元数据中的注释
{"isbns":["7030459199","9787030459190"]}
元数据中的注释
Includes bibliographical references (pages 375-382) and index.
元数据中的注释
Bookmarks: p1 (p1): 第1章 概论
p1-1 (p1): 1.1 等离子体
p1-2 (p3): 1.2 微电子学中的等离子体工艺
p1-3 (p8): 1.3 等离子体推进
p1-4 (p12): 1.4 射频等离子体：E，H和W模式
p1-5 (p15): 1.5 内容简介
p2 (p17): 第2章 等离子体动力学与平衡
p2-1 (p18): 2.1 微观描述
p2-2 (p33): 2.2 宏观描述
p2-3 (p36): 2.3 整体粒子和能量平衡
p2-4 (p39): 2.4 电动力学描述
p2-5 (p48): 2.5 本章总结
p3 (p51): 第3章 有界等离子体
p3-1 (p53): 3.1 空间电荷鞘层区
p3-2 (p62): 3.2 等离子体/鞘层过渡
p3-3 (p67): 3.3 等离子体区：输运模型
p3-4 (p77): 3.4 本章总结
p4 (p83): 第4章 射频鞘层
p4-1 (p83): 4.1 响应时间
p4-2 (p87): 4.2 离子动力学
p4-3 (p95): 4.3 电子动力学
p4-4 (p99): 4.4 （高频）RF鞘层的解析模型
p4-5 (p110): 4.5 重要结果归纳
p5 (p111): 第5章 单频容性耦合等离子体
p5-1 (p112): 5.1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型
p5-2 (p123): 5.2 非均匀离子密度的电流驱动模型
p5-3 (p130): 5.3 整体模型
p5-4 (p139): 5.4 其他放电参数范围及放电位形
p5-5 (p145): 5.5 重要结果归纳
p6 (p147): 第6章 多频容性耦合等离子体
p6-1 (p148): 6.1 静电近似下的双频CCP
p6-2 (p156): 6.2 高频情况下的电磁模式
p6-3 (p181): 6.3 重要结果归纳
p7 (p183): 第7章 感性耦合等离子体
p7-1 (p185): 7.1 电磁模型
p7-2 (p194): 7.2 等离子体自身的阻抗
p7-3 (p198): 7.3 变压器模型
p7-4 (p201): 7.4 纯感性放电的功率转换效率
p7-5 (p203): 7.5 容性耦合
p7-6 (p205): 7.6 整体模型
p7-7 (p210): 7.7 重要结果归纳
p7-8 (p211): 7.8 进一步考虑
p8 (p217): 第8章 螺旋波等离子体
p8-1 (p220): 8.1 在无界等离子体中的平行传播
p8-2 (p224): 8.2 柱状等离子体中传播的螺旋波
p8-3 (p229): 8.3 螺旋波模式存在的条件
p8-4 (p231): 8.4 波功率的吸收：加热
p8-5 (p235): 8.5 E-H-W模式转换
p8-6 (p237): 8.6 重要结果归纳
p9 (p239): 第9章 真实等离子体
p9-1 (p240): 9.1 高密度等离子体
p9-2 (p244): 9.2 磁化等离子体
p9-3 (p248): 9.3 电负性等离子体
p9-4 (p260): 9.4 扩展等离子体
p10 (p265): 第10章 电测量
p10-1 (p266): 10.1 静电探针
p10-2 (p284): 10.2 用于射频等离子体的静电探针
p10-3 (p291): 10.3 减速场分析器
p10-4 (p296): 10.4 共振及波诊断
p10-5 (p306): 10.5 重要结果归纳
p11 (p307): 附录：习题解
p12 (p313): 参考文献
备用描述
"Low-temperature radio-frequency plasmas are essential in various sectors of advanced technology, from micro-engineering to spacecraft propulsion systems and efficient sources of light. The subject lies at the complex interfaces between physics, chemistry and engineering. Focusing mostly on physics, this book will interest graduate students and researchers in applied physics and electrical engineering. The book incorporates a cutting-edge perspective on RF plasmas. It also covers basic plasma physics, including transport in bounded plasmas and electrical diagnostics. Its pedagogic style engages readers, helping them to develop physical arguments and mathematical analyses. Worked examples apply the theories covered to realistic scenarios, and over 100 in-text questions let readers put their newly acquired knowledge to use and gain confidence in applying physics to real laboratory situations"-- Provided by publisher
备用描述
Low-temperature radio frequency plasmas are essential in various sectors of advanced technology, from micro-engineering to spacecraft propulsion systems and efficient sources of light. The subject lies at the complex interfaces between physics, chemistry and engineering. Focusing mostly on physics, this book will interest graduate students and researchers in applied physics and electrical engineering. The book incorporates a cutting-edge perspective on RF plasmas. It also covers basic plasma physics including transport in bounded plasmas and electrical diagnostics. Its pedagogic style engages readers, helping them to develop physical arguments and mathematical analyses. Worked examples apply the theories covered to realistic scenarios, and over 100 in-text questions let readers put their newly acquired knowledge to use and gain confidence in applying physics to real laboratory situations.
备用描述
目录
封面
射频等离子体物理学
内容简介
译者序
致谢
第1章 概论
1.1 等离子体
1.2 微电子学中的等离子体工艺
1.3 等离子体推进
1.4 射频等离子体:E,H和W模式
1.5 内容简介
第2章 等离子体动力学与平衡
2.1 微观描述
2.2 宏观描述
2.3 整体粒子和能量平衡
2.4 电动力学描述
2.5 本章总结
第3章 有界等离子体
3.1 空间电荷鞘层区
3.2 等离子体/鞘层过渡
3.3 等离子体区:输运模型
3.4 本章总结
第4章 射频鞘层
4.1 响应时间
4.2 离子动力学
4.3 电子动力学
4.4 (高频)RF鞘层的解析模型
4.5 重要结果归纳
第5章 单频容性搞合等离子体
5.1 恒定离子密度下电流驱动的对称模型
5.1.2 对称CCP的等效回路模型
5.2 非均匀离子密度的电流驱动模型
5.3 整体模型
5.4 其他放电参数范围及放电位形
5.5 重要结果归纳
第6章 多频容性耦合等离子体
6.1 静电近似下的双频CCP
6.2 高频情况下的电磁模式
6.3 重要结果归纳
第7章 感性耦合等离子体
7.1 电磁模型
7.2 等离子体自身的阻抗
7.3 变压器模型
7.4 纯感性放电的功率转换效率
7.5 容性耦合
7.6 整体模型
7.7 重要结果归纳
7.8 进一步考虑
第8章 螺旋波等离子体
8.1 在无界等离子体中的平行传播
8.2 柱状等离子体中传播的螺旋波
8.3 螺旋波模式存在的条件
8.4 波功率的吸收:加热
8.5 E-H-W模式转换
8.6 重要结果归纳
第9章 真实等离子体
9.1 高密度等离子体
9.2 磁化等离子体
9.3 电负性等离子体
9.4 扩展等离子体
第10章 电测量
10.1 静电探针
10.2 用于射频等离子体的静电探针
10.3 减速场分析器
10.4 共振及波诊断
10.5 重要结果归纳
附录:习题解
参考文献
封底
备用描述
Ben shu zhen dui wei dian zi gong ye zhong de cai liao chu li gong yi (ru ban dao ti xin pian jia gong) , jie shao you guan de de di qi ya she pin deng li zi ti de chan sheng fang fa ji wu li te xing, she ji mu qian zui zhong yao de san zhong she pin deng li zi ti yuan (dan pin ji duo pin dian rong ou he, dian gan ou he, luo xuan bo ou he) ji qi guan lian xing. shu zhong ye lun shu le di wen gao mi du deng li zi ti zai wei dian zi qi jian zhi bei deng ling yu ying yong de zui xin jin zhan ji xiang guan ji shu wen ti
备用描述
Low-temperature radio frequency plasmas are essential in various sectors of advanced technology, from micro-engineering to spacecraft propulsion. With worked examples and over 100 in-text questions, this book will interest graduate students and researchers in applied physics and electrical engineering, helping them to develop physical arguments and mathematical analyses.
备用描述
Machine generated contents note: 1. Introduction; 2. Plasma dynamics and equilibrium; 3. Bounded plasmas; 4. Radiofrequency sheaths; 5. Single frequency capacitively-coupled plasmas; 6. Multi-frequency capacitively-coupled plasmas; 7. Inductively-coupled plasmas; 8. Helicon plasmas; 9. Real plasmas; 10. Electrical measurements; Index.
备用描述
针对微电子工业中的材料处理工艺 (如半导体芯片加工), 介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性, 涉及目前最重要的三种射频等离子体源 (单频及多频电容耦合, 电感耦合, 螺旋波耦合) 及其关联性.书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的最新进展及相关技术问题.作者在书中精心设计了超过100道习题, 有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念
备用描述
本书针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工), 介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性, 涉及目前最重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合, 电感耦合, 螺旋波耦合)及其关联性.书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的最新进展及相关技术问题
开源日期
2020-12-07
更多信息……

🚀 快速下载

成为会员以支持书籍、论文等的长期保存。为了感谢您对我们的支持，您将获得高速下载权益。❤️
如果您在本月捐款，您将获得双倍的快速下载次数。

🐢 低速下载

由可信的合作方提供。 更多信息请参见常见问题解答。 （可能需要验证浏览器——无限次下载！）

所有选项下载的文件都相同，应该可以安全使用。即使这样，从互联网下载文件时始终要小心。例如，确保您的设备更新及时。
显示外部下载
  • 对于大文件，我们建议使用下载管理器以防止中断。
    推荐的下载管理器：JDownloader
  • 您将需要一个电子书或 PDF 阅读器来打开文件，具体取决于文件格式。
    推荐的电子书阅读器：Anna的档案在线查看器、ReadEra和Calibre
  • 使用在线工具进行格式转换。
    推荐的转换工具：CloudConvert和PrintFriendly
  • 您可以将 PDF 和 EPUB 文件发送到您的 Kindle 或 Kobo 电子阅读器。
    推荐的工具：亚马逊的“发送到 Kindle”和djazz 的“发送到 Kobo/Kindle”
  • 支持作者和图书馆
    ✍️ 如果您喜欢这个并且能够负担得起，请考虑购买原版，或直接支持作者。
    📚 如果您当地的图书馆有这本书，请考虑在那里免费借阅。